Основные характеристики:

• Разрешение 3,0 нм при 30 кВ
• Увеличение непрерывное от х4 до х1 000 000
• Скорость сканирования от 20 нс до 10 мс на пиксель
• Динамический фокус, сканирование по линии и в точке, коррекция наклона образца, 3D сканирование
• Размер изображения до 8192х8192 пикселей, 65536 градаций серого
• 3 размера изображения в реальном времени, 10 для записи в файл
• Полностью документированный, открытый удаленный контроль по протоколу TCP/IP